低能電子衍射是一種用于測定晶體材料表面結(jié)構(gòu)和薄膜上原子排列的技術(shù)。
為此,使用裝有準(zhǔn)直低能電子束探測器的探針發(fā)射電子轟擊表面,電子被分散,在熒光屏上可以觀察到斑點(diǎn)。上圖是用GE 1024 1024 BI MID相機(jī)測到的樣品材料被電子轟擊的衍射圖案,相機(jī)的高靈敏度使其能檢測到弱衍射斑點(diǎn)。