greateyes相機(jī)基于EUV光譜法測(cè)量超薄箔厚度
2021-01-04 11:36:14
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EUV透射光譜法是基于激光誘導(dǎo)等離子體源的薄膜厚度快速表征方法。激光聚焦在鉬靶上，產(chǎn)生特征的等離子體發(fā)射，經(jīng)濾波和單色化后EUV光透射超薄箔。為了測(cè)量和箔厚度相關(guān)的透射光，需要讀出噪聲非常低、高靈敏度非常高的相機(jī)。使用柏林馬克斯伯恩研究所的GE 2048512 BI-UVI相機(jī)，標(biāo)準(zhǔn)差小于0.005，箔厚度表征可達(dá)納米精度。