使用Mo靶x射線(xiàn)微焦源Iμs搭建實(shí)驗(yàn)室桌面掠入射廣角X射線(xiàn)散射(GIWAXS)系統(tǒng)
2021-12-06 18:35:00
Kelsey
使用Mo靶x射線(xiàn)微焦源搭建
實(shí)驗(yàn)室桌面GIWAXS系統(tǒng)
斯洛伐克科學(xué)院物理研究所的研究員Karol Vegso博士和其學(xué)生Ashin Shaji博士搭建了首臺(tái)實(shí)驗(yàn)室桌面掠入射廣角X射線(xiàn)散射(GIWAXS)系統(tǒng)。該系統(tǒng)使用了德國(guó)Incoatec先進(jìn)的Mo靶IuS x射線(xiàn)微焦源（左側(cè)）E=17.45 keV以及光子計(jì)數(shù)型、像素化X射線(xiàn)探測(cè)器，中間是CVD腔體。
通過(guò)該系統(tǒng)可以觀(guān)察到MoO3硫化過(guò)程中，MoO3到MoO2再到MoS2的轉(zhuǎn)變過(guò)程。通過(guò)X射線(xiàn)衍射，化學(xué)氣相沉積(CVD)室內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)。
同時(shí)Karol Vegso還搭建一套桌面式GIWAXS系統(tǒng)用于測(cè)量數(shù)層過(guò)渡金屬硫化物(TMD)的薄層測(cè)量，如二硫化鉬(MoS2)或鉑二硒化物(PtSe2)等非常有應(yīng)用前景的半導(dǎo)體薄膜。
