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使用Mo靶x射線微焦源Iμs搭建實(shí)驗(yàn)室桌面掠入射廣角X射線散射(GIWAXS)系統(tǒng)

2021-12-06 18:35:00 Kelsey

使用Mo靶x射線微焦源搭建

實(shí)驗(yàn)室桌面GIWAXS系統(tǒng)


斯洛伐克科學(xué)院物理研究所的研究員Karol Vegso博士和其學(xué)生Ashin Shaji博士搭建了首臺(tái)實(shí)驗(yàn)室桌面掠入射廣角X射線散射(GIWAXS)系統(tǒng)。該系統(tǒng)使用了德國Incoatec先進(jìn)的Mo靶IuS x射線微焦源（左側(cè)）E=17.45 keV以及光子計(jì)數(shù)型、像素化X射線探測器，中間是CVD腔體。

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通過該系統(tǒng)可以觀察到MoO3硫化過程中，MoO3到MoO2再到MoS2的轉(zhuǎn)變過程。通過X射線衍射，化學(xué)氣相沉積(CVD)室內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)。

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同時(shí)Karol Vegso還搭建一套桌面式GIWAXS系統(tǒng)用于測量數(shù)層過渡金屬硫化物(TMD)的薄層測量，如二硫化鉬(MoS2)或鉑二硒化物(PtSe2)等非常有應(yīng)用前景的半導(dǎo)體薄膜。

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在此套裝置中Karol Vegso博士同樣使用了德國Incoatec先進(jìn)的Mo靶IuS x射線微焦源（左側(cè)）E=17.45 keV以及光子計(jì)數(shù)型、像素化X射線探測器，樣品臺(tái)是在PI的六角架上放置了旋轉(zhuǎn)臺(tái)，使用者可以從不同phi角測量GIWAXS譜圖或進(jìn)行phi掃描。


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the example of the GIWAXS patternfor PtSe2 grown on the c-plane sapphire averaged from 0° to 360°
來自德國Incoatec公司的微焦點(diǎn)光源IμS包含了一根30W/50W/80W微焦點(diǎn)封閉管，而該封閉管則擁有高亮度和高性能的2維聚焦型或準(zhǔn)直型Quazar多層光學(xué)器件-Montel鏡）。其性能不但超過了傳統(tǒng)的5.4 kW旋轉(zhuǎn)陽極光源，還像封閉管系統(tǒng)一樣易于操作。該光源可用于Cu輻射、Mo輻射和Ag輻射。該IμS還具有其他許多優(yōu)點(diǎn)：無需水冷，無活動(dòng)零件，不經(jīng)維護(hù)即有很長壽命，極其穩(wěn)定，易于更換。其所采用的發(fā)生器單元可輕松安裝到19英寸的架子上，且能隨一套準(zhǔn)直器系統(tǒng)和配件（如校準(zhǔn)電動(dòng)機(jī)或射束分析工具）一同交付。全套系統(tǒng)無輻射危險(xiǎn)，且經(jīng)過真空測試。

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