周期：3±0.1μm；占空比：0.5±0.05；光柵面積：50mm x 50mm；光柵厚度：25-29μm

不同厚度金箔的 X 射線能量透過(guò)率 

結(jié)合實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景，選擇合適的技術(shù)路線和技術(shù)參數(shù)，將微結(jié)構(gòu)尺度控制在15-30μm 范圍，深寬比甚至可以達(dá)到30；那么無(wú)論是從技術(shù)實(shí)行難度還是成本方面，都是非常有意義的。這些能力也完全能夠支撐邊緣照明技術(shù)路線的微結(jié)構(gòu)制作。可以看到，400μm 的厚度，完全可以支撐 60-80keV 的高能應(yīng)用。

高縱橫比針孔

光柵法相襯成像

但這種方式犧牲了一維方向上的視場(chǎng)。既然光柵這條路不好走，那么我們可能需要轉(zhuǎn)換思路。

對(duì)于光源來(lái)說(shuō)，100KV 以上的微焦點(diǎn)光源是可以獲得的，但是其光通量必然較低。在高投影放大倍數(shù)的情況下，落到每一個(gè)像素的光子數(shù)極其有限。顯然，如果要用同軸法來(lái)實(shí)現(xiàn)高能的寬視場(chǎng)相襯成像，對(duì)探測(cè)器的要求有：小像素、低串?dāng)_以保證高空間分辨、高能高靈敏響應(yīng)以保證實(shí)驗(yàn)效率、視場(chǎng)大小則制約樣品尺寸。

可以看到：無(wú)論是 8μm 的高分辨線對(duì)卡，還是 15-30μm 的低分辨卡，強(qiáng)度調(diào)制都非常明顯。說(shuō)明 BrillianSe? 的空間分辨能力非常優(yōu)秀。

接下來(lái)通過(guò)刀邊成像，提取線分布函數(shù)：

可以看到：其半高全寬為 9.7μm，僅為像素尺寸的1.1倍。而同樣是 9μm 像素的間接探測(cè) CCD 相機(jī)參數(shù)：其點(diǎn)擴(kuò)散（FWHM = 27μm），一般是像素尺寸的 3 倍。所以，這個(gè)數(shù)據(jù)再次說(shuō)明，直接探測(cè)型 a-Se CMOS 探測(cè)器的空間分辨能力是非常優(yōu)越的。

同時(shí)，這款探測(cè)器是直接探測(cè)，具有天然的靈敏度優(yōu)勢(shì)，其采用100μm 厚的 a-Se 傳感器，高能響應(yīng)可以覆蓋100keV。所以，該款探測(cè)器為高能寬視場(chǎng)同軸相襯成像的實(shí)現(xiàn)提供了可能。

a-Se CMOS 探測(cè)器 BrillianSe? 測(cè)試結(jié)果：

6. Pil-Ali, Abdollah, et al. "Direct Conversion X-ray Detector with Micron-Scale Pixel Pitch for Edge-Illumination and Propagation-Based X-ray Phase-Contrast Imaging." Sensors 22.15 (2022): 5890.

7.Li, Xinbin, et al. "A preclinical large-field-of-view x-ray multi-contrast lung imaging prototype." Medical Imaging 2020: Physics of Medical Imaging. Vol. 11312. SPIE, 2020.

8. Thüring, Thomas, et al. "X-ray phase-contrast imaging at 100 keV on a conventional source." Scientific reports 4.1 (2014): 1-4.

9. Scott, Christopher C., et al. "High-energy micrometre-scale pixel direct conversion X-ray detector." Journal of Synchrotron Radiation 28.4 (2021): 1081-1089.