高精度同步輻射鏡片的制造工藝
同步輻射是當前許多科學和工業(yè)領域中的高性能儀器。對這種光源的日益關注為基礎和應用研究開辟了新的可能性。同步輻射射線工具將研究者帶入了原子尺度的世界，這歸功于同步輻射的極小波長和超高真空室。因此，對所使用的光學元件有非常嚴格的規(guī)格要求。高熱導率和低熱膨脹對同步輻射鏡片基底（低的形變）來說是必要的，同時還需要良好的光學加工性能和長期穩(wěn)定性。
高精度同步輻射鏡片
同步輻射金鏡
以掠入射光學元件的質量以表面形狀誤差為特征，這是一種描述實際形狀與理想表面之間最大（PV）或平均（RMS）偏差的術語。由于斜入射光學元件的聚焦質量主要由表面上的斜率分布決定，因此更常用RMS斜率誤差作為全局形狀精度的規(guī)格要求。典型值為 0.05 微弧度/ RMS（用于平面表面）至 0.1 微弧度/ RMS（非球面表面）。在可視化干涉檢測中，通常使用測試波長（PV或RMS）的百分比來描述面型精度，例如“λ/130（RMS）@ 633nm” - 在測試波長λ=632.8nm下。干涉測量技術最適合于平面和球面表面。如果使用組件特定的零透鏡，還可以測試非球面表面。該透鏡可以補償由非球面變形引起的波前像差。微粗糙度可以通過微干涉儀或 3D 光學輪廓儀進行測量，分辨率應優(yōu)于 0.1nm，例如 Zygo 公司的“NewView 5000”。
可提供的同步輻射鏡片類型 (參考參數(shù)）：
基底材料: Sitall CO-155M (Zerodur); Fused Silica; Si; SiC CVD etc. | ||
HR COATING (with Ion Beam Assistance): Standard EUV (Cr_binder +Au_40nm): HR @ 25- 200 nm at AOI | ||
極限參數(shù) | 標準參數(shù) | |
尺寸 | Up to 1200 mm | Up to 500 mm |
有效尺寸 | Up to 100 % | 90 % |
曲率公差 | Down to 0.01 % | 0.5 % |
微粗糙度 | 0.4 | ~2 |
斜率誤差 | 0.1 – 縱向 | 5-縱向 |
面型精度 | λ / 130 | λ / 25 |
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