眾星聯(lián)恒與德國SIRIUS正式簽署代理協(xié)議，向中國客戶提供靈活的X射線衍射解決方案
眾星聯(lián)恒與德國SIRIUS正式簽署代理協(xié)議，向中國客戶提供靈活的X射線衍射解決方案
本著為國內(nèi)客戶提供高端的X射線/SXR/EUV產(chǎn)品及解決方案的想法，眾星聯(lián)恒再一次提高了我們的解決方案提供能力。經(jīng)過長期的調(diào)研及深刻的討論后，眾星聯(lián)恒與德國SIRIUS公司正式簽署了代理協(xié)議，成為了SIRIUS在中國區(qū)的授權(quán)代理。
Sirius公司成立于2015年，是一家材料科學(xué)和半導(dǎo)體行業(yè)X射線分析解決方案的提供商。作為一家獨立的儀器集成商，Sirius不僅向同步輻射用戶提供薄膜，表面和原位表征的完整實驗室解決方案，還提供X射線半導(dǎo)體計量解決方案以及X射線衍射分析服務(wù)。
Sirius可提供的解決方案：
1. 實驗室解決方案
| 此套分析儀器集成了Huber的衍射系統(tǒng)和Eulerian CRADLE、及光子計數(shù)像素化X射線探測器。 -可以在Linux操作系統(tǒng)或Windows 10上操作此實驗室儀器。 -該X射線衍射系統(tǒng)是為同步輻射用戶量身定制的。 -同步輻射實驗前測試和教學(xué) |
2. 定制解決方案
| 實驗室表面衍射系統(tǒng) -軟件和硬件集成了最新的2D探測器和X射線技術(shù) -微區(qū)衍射 -原位層生長的快速定性分析 -平面x射線衍射 |
| 多用途的薄膜分析裝置，從亞納米厚度到毫米的小樣品 -高分辨X射線衍射 -平面X射線表面衍射 -掠入射熒光/ 反射率 |
| 用于四圓x射線衍射的Eulerial Cradle -結(jié)晶薄膜和大塊樣品 -晶圓mapping可達200mm -倒易空間圖 -織構(gòu) / 應(yīng)力 |
3. X射線半導(dǎo)體計量系統(tǒng)
| 專門用于研發(fā)實驗室或中試線的X射線半導(dǎo)體計量學(xué)實驗室設(shè)備，特別是化合物半導(dǎo)體，MEMS，高功率器件和后端工藝。 -通過XRR, HRXRD和RSM, GID，晶圓Mapping進行薄膜計量。 -樣品臺可支持大至200mm的晶圓或200mm x 200mm的剛性/柔性樣品。 -自動化測量和分析。 -最先進的專有分析和測量軟件。 -設(shè)備尺寸：1.2m x 1.3m x 2.1m |
X射線薄膜分析是一種確定膜厚，結(jié)構(gòu)參數(shù)，組成和應(yīng)變的成熟技術(shù)。膜厚度范圍可以從亞納米到毫米。根據(jù)不同薄膜類型，將使用不同的X射線技術(shù)以確定感興趣的參數(shù)。
此前，眾星聯(lián)恒在系統(tǒng)集成方面提出了自主品牌桌面超快X射線診斷裝置，如今Sirius的解決方案將會是我們在系統(tǒng)方案方面的有力補充。作為高端X射線組件及解決方案提供商，眾星聯(lián)恒將持續(xù)攜手來自全球的高科技領(lǐng)域合作伙伴，為中國廣大科研用戶提供更加專業(yè)的服務(wù)和本地技術(shù)支持。