X射線深度光刻微加工技術(shù)：LIGA

LIGA 是德文的制版術(shù)Lithographie，電鑄成形Galvanoformung 和注塑Abformung 的縮寫。自20世紀(jì)80年代德國卡爾斯魯厄原子核研究所為制造微噴嘴創(chuàng)立LIGA技術(shù)以來，對其感興趣的國家日益增多，德、日、美相繼投入巨資進(jìn)行開發(fā)研究。該技術(shù)被認(rèn)為是最有前途的三維微細(xì)加工方法，具有廣闊的應(yīng)用前景。與傳統(tǒng)微細(xì)加工方法相比，用LIGA技術(shù)進(jìn)行超微細(xì)加工有如下特點(diǎn)：

1.可制造有較大深寬比的微結(jié)構(gòu)。

2.取材廣泛，可以是金屬、陶瓷、聚合物、玻璃等。

3.可制作任意復(fù)雜圖形結(jié)構(gòu)，精度高。

4.可重復(fù)復(fù)制，符合工業(yè)上大批量生產(chǎn)要求，成本低。

德國卡爾斯魯厄Karlsruhe是LIGA技術(shù)的發(fā)源地，來自Karlsruhe技術(shù)研究所與microworks GmbH的定制化高縱橫比微結(jié)構(gòu)。LIGA工藝制造的微結(jié)構(gòu)聚合物和金屬零件在x射線光學(xué)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，包括在在科研機(jī)構(gòu)和工業(yè)領(lǐng)域，尤其在光柵法X相襯成像領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 高縱橫比（>100）金屬或聚合物

• 立角約90°的平行側(cè)壁（1mm高的結(jié)構(gòu)偏差~1μm

• 側(cè)壁光滑（表面粗糙度Ra 在10 nm范圍）

• 橫向精度在數(shù)微米范圍（數(shù)厘米距離下）

• 通過雙次曝光可得到多種側(cè)壁角度

參考文獻(xiàn)

德國 Microworks X射線光柵、微結(jié)構(gòu)-Flyer

主要應(yīng)用：

• X射線光柵 (Au ，Ni)

• X射線棱鏡(SU-8)

• X射線狹縫/針孔(Au)

• X射線準(zhǔn)直器 (Au)

• 高級微結(jié)構(gòu)零部件(Au)

公司介紹：Microworks

德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）微技術(shù)研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術(shù)，能為廣大科研用戶提供高度定制化的透射光柵和高精度微結(jié)構(gòu)方案，在光柵法相襯成像領(lǐng)域，具有很好的口碑。在微納米技術(shù)領(lǐng)域，Microworks代表著高精度。在一個晶片內(nèi)或者從一個晶片到另一個晶片，其高縱橫比和精度可以遠(yuǎn)低于1μm。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器（選頻濾波器）、微彈簧，RF等。

點(diǎn)擊前往：X射線光柵 光束截補(bǔ)器 Yxlon標(biāo)準(zhǔn)分辨率測試卡-高襯度

相關(guān)介紹：當(dāng)LIGA技術(shù)與光柵法X射線 相襯成像相遇

相關(guān)介紹：LIGA技術(shù)制作X射線光學(xué)元件在X射線顯微學(xué)中的應(yīng)用