特點(diǎn)：激光驅(qū)動(dòng)等離子體的 EUV 光源、高光子通量、單色或?qū)拵нB續(xù)的EUV光輸出、多種定制波長(zhǎng)可選、無(wú)電極污染，產(chǎn)生碎屑少、小光源尺寸，高亮度。
1-20nm (60-1000eV) 光譜范圍內(nèi)的交鑰匙輻射源。長(zhǎng)期穩(wěn)定的等離子源，維護(hù)成本低，通過(guò)軟件控制進(jìn)行直觀操作?？蛇x配聚焦裝置和單色器。
緊湊型激光驅(qū)動(dòng)等離子體 EUV 光源
1-20nm (60-1000eV) 光譜范圍內(nèi)的交鑰匙輻射源。
長(zhǎng)期穩(wěn)定的等離子源，維護(hù)成本低，通過(guò)軟件控制進(jìn)行直觀操作。
* 可選配聚焦裝置和單色器。
高光子通量
單色或?qū)拵нB續(xù)的EUV光輸出
多種定制波長(zhǎng)可選
無(wú)電極污染，產(chǎn)生碎屑少
小光源尺寸，高亮度
類型 | 無(wú)碎屑激光驅(qū)動(dòng)等離子體XUV源 | ||
氣體靶材 | 氪氣、氮?dú)?、氙氣等多種氣體靶材可選 | ||
重復(fù)率 | 20Hz | ||
源功率穩(wěn)定性 | ±1.5% | ||
波長(zhǎng)范圍 | 1.5nm-6nm, 2.16nm, 2.48nm, 2.88nm, 13.0nm, 13.5nm等多種波長(zhǎng)可選 | ||
發(fā)散角度 | 2pi | ||
真空兼容度 | <10-6mbar（更高真空度可定制） | ||
激光安全等級(jí) | 1 | ||
占地面積 | 1m x 1m | ||
氪氣 | 氮?dú)?/span> | 氙氣 | |
能量范圍 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
光通量 | 2·1015ph/s/sr | 1·1014ph/s/sr | 7·1014ph/s/s |
輸出功率（2pi發(fā)散角） | 200mW | 10mW | 70mW |
EUV計(jì)量
掩模缺陷檢測(cè)
抗蝕劑開(kāi)發(fā)
極紫外顯微
水窗顯微
NEXAFS光譜
spec sheet HP - 眾星聯(lián)恒proLINE.pdf
德國(guó)HP Spectroscopy公司成立于2012年，致力于為全球科研及工業(yè)領(lǐng)域的客戶定制最佳解決方案，是科學(xué)儀器的全球供應(yīng)商和領(lǐng)先開(kāi)發(fā)商。產(chǎn)品線包括XAS系統(tǒng)，XUV/VUV/X-ray光譜儀，beamline產(chǎn)品等。主要團(tuán)隊(duì)由x射線、光譜、光柵設(shè)計(jì)、等離子體物理、beamline等領(lǐng)域的專家組成。并與全球領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)的科學(xué)家維持緊密合作，關(guān)注前沿技術(shù)，保持產(chǎn)品的迭代與創(chuàng)新。
類型 | 無(wú)碎屑激光驅(qū)動(dòng)等離子體XUV源 | ||
氣體靶材 | 氪氣、氮?dú)?、氙氣等多種氣體靶材可選 | ||
重復(fù)率 | 20Hz | ||
源功率穩(wěn)定性 | ±1.5% | ||
波長(zhǎng)范圍 | 1.5nm-6nm, 2.16nm, 2.48nm, 2.88nm, 13.0nm, 13.5nm等多種波長(zhǎng)可選 | ||
發(fā)散角度 | 2pi | ||
真空兼容度 | <10-6mbar（更高真空度可定制） | ||
激光安全等級(jí) | 1 | ||
占地面積 | 1m x 1m | ||
氪氣 | 氮?dú)?/span> | 氙氣 | |
能量范圍 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
光通量 | 2·1015ph/s/sr | 1·1014ph/s/sr | 7·1014ph/s/s |
輸出功率（2pi發(fā)散角） | 200mW | 10mW | 70mW |
應(yīng)用
EUV計(jì)量
掩模缺陷檢測(cè)
抗蝕劑開(kāi)發(fā)
極紫外顯微
水窗顯微
NEXAFS光譜
spec sheet HP - 眾星聯(lián)恒proLINE - 中文.pdf
