? 關于RITE

Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下簡稱“RITE”)，配有多個專業(yè)的X射線實驗室，作為日本理學在歐洲的 X 射線光學鏡片設計、開發(fā)和制造中心。

隨著EUV/XUV產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼，X射線各領域的研究也不斷深入，RITE專為這兩大類應用提供性能優(yōu)越的光學元件。憑借自身在X射線、極紫外光學領域多年的積累，除了承擔母公司理學在EUV/XUV、軟X射線、硬X射線等設備的研發(fā) (R&D) 任務以外，RITE秉承著開放合作的理念，也直接向全球的工業(yè)客戶、實驗室科研用戶提供標準或定制型EUV/X-RAY光學鏡片和高分辨間接X射線探測器等。

RITE實驗室	EUV Replicated Optic

捷克RITE基于其先進獨特的復制技術 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光學器件的研發(fā)設計，定制開發(fā)速度快，質(zhì)量高，工藝水平全球領先。擁有專利技術的工藝，能夠商業(yè)化生產(chǎn)直徑達300mm、段長達250mm，組合拼接后可達1000mm的光學器件。通過復制技術制作的光學元件具有低重量、高表面精度(低斜率誤差)和低表面粗糙度等特點。全反射鏡的另一個有趣的特性是使用各種金屬層作為涂層，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。

• 超高表面精度和更低的表面粗糙度
  

Ru鍍層的微觀粗糙度:

• 面形誤差精度

使用Taylor – Hobson輪廓儀測量,拋光前測得RMS (Δr) = 1.14 μm，拋光后測得RMS (Δr) = 0.109 μm 

• 更高的反射率

對于光學復制技術的擴展，RITE可以設計和生產(chǎn)多箔光學鏡片(MFO)。

多箔光學鏡(Multi-Foil Optics, MFO)非常適合軟X射線、EUV波段和大視場的應用，由兩組相互垂直的極薄反射鏡組成，光子通過掠入射角進行反射。可根據(jù)客戶要求快速定制開發(fā)多種形狀1D或2D的MFO（如龍蝦眼，Kirkptrick-Baez組等）。