產(chǎn)品介紹：
· 反射型。
· 可提供圖案：線寬和縫寬80 nm以下。其他圖案還在研發(fā)中。
· 線上可以加工“缺口”，線之間可以加工“橋接”用于標(biāo)記。
· 由于設(shè)計靈活，所以性能更高，成本也更低。
· 正在開發(fā)50 nm及以下的線縫和縫寬圖案。在有限條件下，可以提供圖案分辨率樣本。
· 反射型。
· 可提供圖案：線寬和縫寬80 nm以下。其他圖案還在研發(fā)中。
· 線上可以加工“缺口”，線之間可以加工“橋接”用于標(biāo)記。
· 由于設(shè)計靈活，所以性能更高，成本也更低。
· 正在開發(fā)50 nm及以下的線縫和縫寬圖案。在有限條件下，可以提供圖案分辨率樣本。