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EUV/SXR/X-Ray科研級(jí)CCD相機(jī)

極紫外、軟X射線內(nèi)真空CCD相機(jī)-LOTTE-s光譜系列

13.5nm高量子效率,極紫外光刻應(yīng)用

  • 產(chǎn)地: 德國(guó)
  • 型號(hào): LOTTE-s 系列
  • 品牌: greateyes

產(chǎn)品介紹

出身于柏林的LOTTE是德國(guó)greateyes公司最新研發(fā),應(yīng)用于極紫外,真空紫外和X射線能段的光譜及影像內(nèi)真空相機(jī)。LOTTE集成了目前最前沿的低噪聲電子系統(tǒng)和超低溫制冷技術(shù),同時(shí)保持了緊湊小巧的設(shè)計(jì)。全新的設(shè)計(jì)允許從50 kHz至5 MHz靈活地選擇所需讀出速度。18-bit 的模數(shù)轉(zhuǎn)換能夠利用CCD傳感器的全動(dòng)態(tài)范圍,以達(dá)到更好表現(xiàn)和更高的信噪比。為匹配不同應(yīng)用的需求,該相機(jī)包括多種類型的傳感器可供用戶選擇。同時(shí)LOTTE的低噪聲使之成為極弱信號(hào)條件下所需的理想相機(jī),它將給您的光譜學(xué)和影像研究帶來(lái)前所未有的可能性。

主要特點(diǎn)

  • 密封設(shè)計(jì)及超高真空兼容性高達(dá) 98% 的量子效率

  • 深度制冷至 -100 °C

  • 18 位動(dòng)態(tài)范圍

  • kHz - MHz 靈活讀出頻率設(shè)計(jì)緊湊


規(guī)格參數(shù)

量子效率曲線

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

通用參數(shù)

讀出頻率

50 kHz,  250kHz, 1 MHz, 3 MHz(5 MHz 用于查看模式; 頻率可定制)

AD 轉(zhuǎn)換分辨率

18-bit

線性度

優(yōu)于 99%

CCD 外延層厚度

標(biāo)準(zhǔn)15 μm, 深耗盡類型40 μm

真空饋通法蘭

CF DN100法蘭,其上配有D-sub接口及6 mm水冷進(jìn)/出口

真空兼容性

刀口封接法蘭: 10-9 mbar (超高真空)

烘烤溫度

Max. +80 °C

法蘭距

6 mm (法蘭距可訂制)

CCD傳感器制冷

100 ° C to 20 °C (僅支持水冷)

溫度監(jiān)控

于CCD 傳感器上,及半導(dǎo)體制冷的熱端

數(shù)據(jù)傳輸

千兆以太網(wǎng)GigE

軟件

greateyes Vision 軟件(Windows 7 / 10)

SDK 和驅(qū)動(dòng)

DLL for Windows; LabVIEW, EPICS, Linux, Python以及Tango驅(qū)動(dòng) (可選)

TTL 接口信號(hào)

1 Exposure out, 1 trigger in

供電

80-264 VAC (typ. 115/230), 47-63 Hz (typ. 50/60), max. 1.1 A (230 V) / 1.9 A (115 V)

認(rèn)證

CE

尺寸

9.0 cm (3.54?) × 9.0 cm (3.54?) × 23.5 cm (9.25?)

重量

5.0kg

選擇相機(jī)型號(hào)

LOTTE-s Series

LOTTE-s 1k256

LOTTE-s 2k512

型號(hào)代碼

FI

FI DD

BI UV1

FI

BI

BI UV1

有效像素(列 × 行)

1024 × 255

2048 × 515

感光區(qū)域

26.6 mm × 6.7 mm

27.6 mm × 6.9 mm

像素尺寸

26 μm × 26 μm

13.5 μm × 13.5 μm

最大像素阱容

500 keˉ / 700 keˉ (DD)

100 keˉ

寄存器阱容 

1 000 keˉ / 1 400 keˉ (DD)

400 keˉ

讀出噪聲典型值 (eˉ) 

@ 50 kHz

 @ 1 MHz

 @ 3 MHz

FI       BI       DD

4.8     7.2    6.4 

17.0   18.8   18.0

41.8    43.8   41.8 


4.0

8.9

15.6

暗電流 (eˉ/pixel/s)

@ -100 °C

0.0004 / 0.005 (DD)

@ -100 °C

0.00025

增益(counts/eˉ)標(biāo)準(zhǔn)模式

高容量模式

0.4 counts/eˉ

1 counts/e

0.34 counts/eˉˉ

CCD傳感器類型

前照式 (FI), 背照式 (BI), 深耗盡條紋抑制 (DD),增強(qiáng)型背照式(BI UV1)

缺陷等級(jí)

Grade 0 或 grade 1 (標(biāo)配)

更多詳情請(qǐng)見術(shù)語(yǔ)表中的Blemish specifications:https://www.greateyes.de/en/glossar.html

選擇相機(jī)設(shè)計(jì)

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司


相機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配件

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

可選配件與軟件

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司


典型應(yīng)用

  • 極紫外光刻

  • 軟 X 射線光譜

  • 等離子體發(fā)射光譜

  • 高次諧波(HHG)光譜

  • X 射線近邊吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)光譜

  • 共振非彈性 X 射線散射


資料/文獻(xiàn)

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司greateyes LOTTE 光譜系列極紫外、X射線相機(jī)(眾星聯(lián)恒).pdf


1.      Loetzsch R, Beyer H F, Duval L, et al. Testing quantum electrodynamics in extreme fields using helium-like uranium[J]. Nature, 2024, 625(7996): 673-678.

2.      Ossiander M, Meretska M L, Hampel H K, et al. Extreme ultraviolet metalens by vacuum guiding[J]. Science, 2023, 380(6640): 59-63.

3.      Eller F, McNeill C R, Herzig E M. Tackling P3HT: Y‐Series Miscibility Through Advanced Processing for Tunable Aggregation[J]. Advanced Energy Materials, 2024, 14(29): 2304455.

4.      Sun T, Sun G, Yu F, et al. Soft X-ray ptychography chemical imaging of degradation in a composite surface-reconstructed Li-rich cathode[J]. ACS nano, 2020, 15(1): 1475-1485.

5.      Wen J J, Huang H, Lee S J, et al. Observation of two types of charge-density-wave orders in superconducting La2-x Sr x CuO4[J]. Nature Communications, 2019, 10(1): 3269.

6.      Rottke H, Engel R Y, Schick D, et al. Probing electron and hole colocalization by resonant four-wave mixing spectroscopy in the extreme ultraviolet[J]. Science advances, 2022, 8(20): eabn5127.

7.      Pan B Y, Jang H, Lee J S, et al.Intertwined spin and orbital density waves in MnP uncovered by resonant soft x-ray scattering[J]. Physical Review X, 2019, 9(2): 021055.

8.      Bothra U, Hui P, Tan W L, et al. Visualization of sub-nanometer scale multi-orientational ordering in thin films of polymer/non-fullerene acceptor blends[J]Journal of Materials Chemistry A, 2022, 10(46): 24662-24675.

9.      Schupp R, Torretti F, Meijer R A, et al. Efficient generation of extreme ultraviolet light from Nd: YAG-driven microdroplet-tin plasma[J]. Physical Review Applied, 2019, 12(1): 014010.


公司介紹

成立于2008年的greateyes,是以德國(guó)柏林洪堡大學(xué)的技術(shù)為基礎(chǔ),迅速發(fā)展成為國(guó)際知名的先進(jìn)探測(cè)器生產(chǎn)企業(yè)。如今,其科研與工業(yè)客戶群體已遍布多個(gè)國(guó)家。

greateyes開發(fā)、生產(chǎn)并銷售高性能科學(xué)相機(jī)。其作為精確探測(cè)器,被廣泛應(yīng)用于成像與譜學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí),greateyes公司也生產(chǎn)用于太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的電致熒光與光致熒光檢測(cè)系統(tǒng)。




10.   Mantouvalou I, Witte K, Gr?tzsch D, et al. High average power, highly brilliant laser-produced plasma source for soft X-ray spectroscopy[J]. Review of Scientific Instruments, 2015, 86(3).

11.   Wachulak P W, Torrisi A, Bartnik A, et al. Desktop water window microscope using a double-stream gas puff target source[J]. Applied Physics B, 2015, 118: 573-578.

相機(jī)規(guī)格表

讀出頻率50 kHz,  250kHz, 1 MHz, 3 MHz(5 MHz 用于查看模式; 頻率可定制)
AD 轉(zhuǎn)換分辨率18-bit
線性度優(yōu)于 99%
CCD 外延層厚度標(biāo)準(zhǔn)15 μm, 深耗盡類型40 μm
真空饋通法蘭CF DN100法蘭,其上配有D-sub接口及6 mm水冷進(jìn)/出口
真空兼容性刀口封接法蘭: 10-9 mbar (超高真空)
烘烤溫度Max. +80 °C
法蘭距6 mm (法蘭距可訂制)
CCD傳感器制冷100 ° C to 20 °C (僅支持水冷)
溫度監(jiān)控于CCD 傳感器上,及半導(dǎo)體制冷的熱端
數(shù)據(jù)傳輸千兆以太網(wǎng)GigE
軟件greateyes Vision 軟件(Windows 7 / 10)
SDK 和驅(qū)動(dòng)DLL for Windows; LabVIEW, EPICS, Linux, Python以及Tango驅(qū)動(dòng) (可選)
TTL 接口信號(hào)1 Exposure out, 1 trigger in
供電80-264 VAC (typ. 115/230), 47-63 Hz (typ. 50/60), max. 1.1 A (230 V) / 1.9 A (115 V)
認(rèn)證CE
尺寸9.0 cm (3.54?) × 9.0 cm (3.54?) × 23.5 cm (9.25?)
重量5.0kg


相機(jī)型號(hào)

LOTTE-s SeriesLOTTE-s 1k256LOTTE-s 2k512
型號(hào)代碼

FI

FI DD

BI UV1

FI

BI

BI UV1

有效像素(列 × 行)1024 × 2552048 × 515
感光區(qū)域26.6 mm × 6.7 mm27.6 mm × 6.9 mm
像素尺寸26 μm × 26 μm13.5 μm × 13.5 μm
最大像素阱容500 keˉ / 700 keˉ (DD)100 keˉ
寄存器阱容 1 000 keˉ / 1 400 keˉ (DD)400 keˉ

讀出噪聲典型值 (eˉ) 

@ 50 kHz

 @ 1 MHz

 @ 3 MHz

FI       BI       DD

4.8     7.2    6.4 

17.0   18.8   18.0

41.8    43.8   41.8 


4.0

8.9

15.6

暗電流 (eˉ/pixel/s)

@ -100 °C

0.0004 / 0.005 (DD)

@ -100 °C

0.00025

增益(counts/eˉ)標(biāo)準(zhǔn)模式

高容量模式

0.4 counts/eˉ

1 counts/e

0.34 counts/eˉˉ

CCD傳感器類型前照式 (FI), 背照式 (BI), 深耗盡條紋抑制 (DD),增強(qiáng)型背照式(BI UV1)
缺陷等級(jí)

Grade 0 或 grade 1 (標(biāo)配)

更多詳情請(qǐng)見術(shù)語(yǔ)表中的Blemish specifications:https://www.greateyes.de/en/glossar.html


量子效率曲線

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

  • 極紫外光刻

  • 軟 X 射線光譜

  • 等離子體發(fā)射光譜

  • 高次諧波(HHG)光譜

  • X 射線近邊吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)光譜共振非彈性 X 射線散射


北京眾星聯(lián)恒科技有限公司greateyes LOTTE 光譜系列極紫外、X射線相機(jī)(眾星聯(lián)恒).pdf



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