產(chǎn)品介紹
? 關(guān)于RITE
Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下簡稱“RITE”)，配有多個(gè)專業(yè)的X射線實(shí)驗(yàn)室，作為日本理學(xué)在歐洲的 X 射線光學(xué)鏡片設(shè)計(jì)、開發(fā)和制造中心。
隨著EUV/XUV產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼，X射線各領(lǐng)域的研究也不斷深入，RITE專為這兩大類應(yīng)用提供性能優(yōu)越的光學(xué)元件。憑借自身在X射線、極紫外光學(xué)領(lǐng)域多年的積累，除了承擔(dān)母公司理學(xué)在EUV/XUV、軟X射線、硬X射線等設(shè)備的研發(fā) (R&D) 任務(wù)以外，RITE秉承著開放合作的理念，也直接向全球的工業(yè)客戶、實(shí)驗(yàn)室科研用戶提供標(biāo)準(zhǔn)或定制型EUV/X-RAY光學(xué)鏡片和高分辨間接X射線探測器等。
RITE實(shí)驗(yàn)室 | EUV Replicated Optic |
|
|
捷克RITE基于其先進(jìn)獨(dú)特的復(fù)制技術(shù) (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光學(xué)器件的研發(fā)設(shè)計(jì)，定制開發(fā)速度快，質(zhì)量高，工藝水平全球領(lǐng)先。擁有專利技術(shù)的工藝，能夠商業(yè)化生產(chǎn)直徑達(dá)300mm、段長達(dá)250mm，組合拼接后可達(dá)1000mm的光學(xué)器件。通過復(fù)制技術(shù)制作的光學(xué)元件具有低重量、高表面精度(低斜率誤差)和低表面粗糙度等特點(diǎn)。全反射鏡的另一個(gè)有趣的特性是使用各種金屬層作為涂層，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。
超高表面精度和更低的表面粗糙度
平均粗糙度 Ra (nm) | 均方根 RMS (nm) | |
10 μm × 10 μm | 0.72 | 0.91 |
1 μm × 1 μm | 0.27 | 0.34 |
Ru鍍層的微觀粗糙度:
面形誤差精度
使用Taylor – Hobson輪廓儀測量,拋光前測得RMS (Δr) = 1.14 μm，拋光后測得RMS (Δr) = 0.109 μm
更高的反射率
對(duì)于光學(xué)復(fù)制技術(shù)的擴(kuò)展，RITE可以設(shè)計(jì)和生產(chǎn)多箔光學(xué)鏡片(MFO)。
多箔光學(xué)鏡(Multi-Foil Optics, MFO)非常適合軟X射線、EUV波段和大視場的應(yīng)用，由兩組相互垂直的極薄反射鏡組成，光子通過掠入射角進(jìn)行反射?？筛鶕?jù)客戶要求快速定制開發(fā)多種形狀1D或2D的MFO（如龍蝦眼，Kirkptrick-Baez組等）。
復(fù)制鏡典型參數(shù)
? 光譜范圍: EUV (60 – 200 eV)；軟X射線（200-2000eV）；硬X射線 (2 – 10 KeV)
? 鏡片面形: 橢球鏡（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)聚焦），拋物面鏡（平行光束），也可根據(jù)需求定制其他面形
? 光學(xué)面材料: Au, Ni, Ru等
? R ≥50%
? 典型表層粗糙度: Ra≈1- 2 nm
? 典型尺寸: 直徑D = 5 – 250 mm；長度L=10-140mm
成像幾何
加工鏡片示例
性能展示
MFO多箔光學(xué)鏡 (龍蝦眼，KB鏡組) -EUV/SXR大視場
|
|
加工鏡片示例
性能展示
MFO橢圓 KB系統(tǒng) | |
|
焦點(diǎn)細(xì)節(jié) |
 激光驅(qū)動(dòng)氙氣和氪氣極紫外輻射的聚焦光斑強(qiáng)度分布。 |
幾何構(gòu)型 |
龍蝦眼鏡片 | |
|
聚焦細(xì)節(jié)(FWHM = 19 arcmin)，光源80μm， 8kev, MEDIPIX2探測器(CTU)。 |
典型應(yīng)用
水窗、極紫外顯微
X射線光電子能譜
X射線顯微成像
極紫外光刻
資料/文獻(xiàn)
極紫外、X射線復(fù)制鏡-datasheet（眾星聯(lián)恒2022.06.17.pdf
參考用戶
德國BESSY 光源
美國CYMER公司
德國哥廷根激光實(shí)驗(yàn)室
美國海軍研究實(shí)驗(yàn)室
美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院
美國加州大學(xué)
日本NTT
韓國LG
荷蘭國家應(yīng)用科學(xué)研究院
愛爾蘭都柏林大學(xué)
復(fù)制鏡典型參數(shù)：
? 光譜范圍: EUV (60 – 200 eV)；軟X射線（200-2000eV）；硬X射線 (2 – 10 KeV)
? 鏡片面形: 橢球鏡（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)聚焦），拋物面鏡（平行光束），也可根據(jù)需求定制其他面形
? 光學(xué)面材料: Au, Ni, Ru等
? R ≥50%
? 典型表層粗糙度: Ra≈1- 2 nm
? 典型尺寸: 直徑D = 5 – 250 mm；長度L=10-140mm
成像幾何
加工鏡片示例：
性能展示
MFO多箔光學(xué)鏡 (龍蝦眼，KB鏡組) -EUV/SXR大視場
|
|
加工鏡片示例
性能展示：
MFO橢圓 KB系統(tǒng) | |
|
焦點(diǎn)細(xì)節(jié) |
 激光驅(qū)動(dòng)氙氣和氪氣極紫外輻射的聚焦光斑強(qiáng)度分布。 |
幾何構(gòu)型 |
龍蝦眼鏡片 | |
? 能量范圍5 - 10 keV ? 焦長: 1 000 - 1 200 mm ? 倍率: ~ 1:1 ? 視場: 2° ?聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 mm ?外形尺寸: 30 x 30 x 65 mm ?口徑: 18 x 18 mm ? 鍍金鏡片 ? 鏡片間距0.3 mm ?鏡片間自由空間 (前視): 56% |
聚焦細(xì)節(jié)(FWHM = 19 arcmin)，光源80μm， 8kev, MEDIPIX2探測器(CTU)。 |
水窗、極紫外顯微
X射線光電子能譜
X射線顯微成像
極紫外光刻
極紫外、X射線復(fù)制鏡-datasheet（眾星聯(lián)恒2022.06.17）.pdf
參考用戶
德國BESSY 光源
美國CYMER公司
德國哥廷根激光實(shí)驗(yàn)室
美國海軍研究實(shí)驗(yàn)室
美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院
美國加州大學(xué)
日本NTT
韓國LG
荷蘭國家應(yīng)用科學(xué)研究院
愛爾蘭都柏林大學(xué)