傳統(tǒng) XRD 的主要缺點(diǎn)在于，它通?；诰哂懈吖β室蟮凝嫶笤O(shè)備。此外，大多數(shù)傳統(tǒng)儀器使用仲聚焦布拉格-布倫塔諾幾何結(jié)構(gòu)，提供高分辨率和高強(qiáng)度光束分析等優(yōu)點(diǎn)，但需要應(yīng)對非常精確的校直要求并需要精心制備樣品。此外，這種幾何結(jié)構(gòu)要求從源到樣品的距離是恒定的，并且等于樣品到檢測儀的距離。因此產(chǎn)生的誤差常常導(dǎo)致相鑒定困難和量化不當(dāng)。錯(cuò)誤定位的樣品、部分透明的樣品或粗糙的樣品可能導(dǎo)致不可接受的樣品位移誤差。樣品平整度、粗糙度和位置限制通常會(huì)妨礙在線測量。如果入射 X 射線束是平行的，則需清除這些限制。

在平行光束 X 射線衍射分析中，可以使用多毛細(xì)管準(zhǔn)直光學(xué)晶體來形成高強(qiáng)度平行 X 射線激發(fā)光束，從而在樣品表面產(chǎn)生非常高的 X 射線強(qiáng)度。 X 射線衍射的定義是

對于平行光束的幾何結(jié)構(gòu)，樣品位置可能發(fā)生變化，并且 XRD 系統(tǒng)不再受到使 X 射線源和樣品之間的距離與樣品和檢測儀之間的距離相等這一限制。幾何結(jié)構(gòu)的靈活性可以適應(yīng)現(xiàn)有的制造條件，并且可以用于更大范圍的樣品形狀和尺寸。平行光束 XRD 不僅對與樣品位移相關(guān)的誤差不敏感；實(shí)際上還消除了所有其他眾所周知的儀器誤差函數(shù)，這些誤差函數(shù)會(huì)導(dǎo)致非對稱峰增寬，例如不平坦或粗糙的樣品、軸向發(fā)散和樣品透明度。因此，幾乎無需樣品制備。此外，通過使用多毛細(xì)管準(zhǔn)直光學(xué)晶體，目標(biāo)平行光束 XRD 系統(tǒng)可以與低功率 X 射線源相結(jié)合，從而減小了儀器尺寸和功率要求。使用 X 射線光學(xué)晶體的平行光束 XRD 已成功應(yīng)用于薄膜分析、樣品質(zhì)地評估、晶相和結(jié)構(gòu)監(jiān)測、樣品應(yīng)力和應(yīng)變研究等領(lǐng)域。

消除多個(gè)誤差源以及降低儀器功率、尺寸、重量和成本的潛力使得平行光束 X 射線系統(tǒng)自然成為在線衍射系統(tǒng)的備選，用于制造和工藝環(huán)境中的質(zhì)量控制和反饋。平行光束 XRD 已成功地應(yīng)用于制藥和鋼鐵工業(yè)中的相分布測量、超導(dǎo)體層和磁性膜的薄膜質(zhì)地測量以及蛋白質(zhì)結(jié)構(gòu)測量的過程應(yīng)用中。