什么是 XRF

X 射線熒光 (XRF) 是一種強(qiáng)大的定量和定性分析工具，用于材料的元素分析。它非常適合測(cè)量薄膜厚度和成分，按固體和溶液的重量測(cè)定元素濃度，以及鑒定復(fù)雜樣品基質(zhì)中的特定元素和微量元素。XRF 分析廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電信、微電子、金屬加工和精煉、食品、醫(yī)藥、化妝品、農(nóng)業(yè)、塑料、橡膠、紡織品、燃料、化學(xué)品和環(huán)境分析等許多行業(yè)。該方法快速、準(zhǔn)確、無(wú)損，幾乎無(wú)需樣品制備。

XRF 如何工作

當(dāng)樣品中的元素暴露于高強(qiáng)度 X 射線源時(shí)，熒光 X 射線將以這些元素特有的能級(jí)從樣品發(fā)射。

所有 XRF 光譜儀的基本概念都是源、樣品和檢測(cè)系統(tǒng)。源照射樣品，檢測(cè)儀測(cè)量從樣品發(fā)射的熒光輻射。在大多數(shù)情況下，XRF 的源是 X 射線管。替代方案是放射源或同步加速器。XRF 儀器主要有兩種類型：能量色散 X 射線熒光 (EDXRF) 和波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 (WDXRF)。

X 射線光學(xué)透鏡可用于增強(qiáng)這兩種 XRF 儀器。對(duì)于常規(guī) XRF 儀器，樣品表面典型焦斑尺寸的直徑范圍從幾百微米到幾毫米不等。多毛細(xì)管聚焦光學(xué)透鏡從發(fā)散 X 射線源收集 X 射線，并將它們引導(dǎo)至樣品表面上形成直徑小到幾十微米的小聚焦光束。由此增加的強(qiáng)度以小焦斑傳遞到樣品，可增強(qiáng)用于小特性分析的空間分辨率和用于微 X 射線熒光應(yīng)用的微量元素測(cè)量性能。雙曲面彎晶光學(xué)透鏡將高強(qiáng)度微米級(jí)單色 X 射線束引導(dǎo)至樣品表面，用于加強(qiáng)元素分析。

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